|
最近 ，光刻芯片圈儿又有大往事了 。何制 佳能搞出了个新的不用芯片制作配置装备部署 ，不用光刻技术，光刻就能造 5nm 的何制芯片 。 而且说是不用再优化优化 ， 2nm 制程也不是光刻啥大下场 。 这可先把一众网友们搞懵圈儿了 ，何制佳能奈何样欠好好造相机 ，不用跑进去搞造芯片的光刻机械了 ？ 而且一动手便是 5nm 、 2nm 的何制 。 而这 ，不用差评君就不患上不先帮佳能找补多少句了 ，光刻并不断以来 ，何制佳能在芯片制作配置装备部署上都有妄想 ，隔邻的尼康也是一个样 。 不外当初光刻机的顶尖技术不断都被 ASML 独占 ，佳能眼看追不上，于是在钻研光刻机的同时 ，又找了另一条赛道 ：纳米压印 。 这次往事的主角，也正是这个 “ 纳米压印 ” 技术 ，反正新闻一出，吃瓜公共们的反映是最冷落的。 像是甚么“ 光刻机即将被取代 ，纳米压印战未来 ” “ ASML 这下要慌了 ，被换赛道超车了 ” 。 。 。种种品评辩说看患上人一片沸腾，彷佛光刻机这玩意儿，之后只能在废品接管站里看到了似的 。 差评君也去简陋清晰了一下 ，却发现使命比想象中的重大 ，且幽默 。 首先这些年来 ，光刻机的睁开已经逐渐走到一个瓶颈期 ，芯片制程的后退速率 ，也肉眼可见患上变慢。 不比力就不伤害，反不雅睁开至今才二十多年的纳米压印技术 ，却是一个 “ 快 ” 字了患上 ，噌噌多少年就快要遇上光刻机的进度了 。 比力上个世纪五十年月起步的光刻技术 ，速率直接翻了一倍多 。 而且，新的纳米压印技术以及光刻机比照 ，不光老本也降了 ，致使制作工艺也贼重大，更适宜大规模破费。 这么说吧 ，用光刻技术造芯片，总老本若是十块，光刻技术就患上花三块 ，光阴老本也占到总老本的一半 。 比力之下 ，用纳米压印技术可能省掉快要三成的老本 ，若是晶圆吞吐量再提升一点 ，直接就能节约一泰半的老本 。 更紧张的是 ，纳米压印技术的工艺颇为重大 ，跟盖章同样 ，像下图这种印章列位差友们理当都见过概况玩过吧 。 纳米压印的道理呢 ，以及它差未多少 ，只不外是迷你微缩版 。 制作的历程总共就分两步 ，一步造 “ 印章 ” ，一步 “ 盖章 ” 。 先在刻好电路的底板上喷涂印章所需的质料 ，等凝聚后便是纳米压印的印章 。 而后再在晶片上喷涂一层纳米压印胶 ，直接盖章 、期待凝聚 、脱模就 OK 了 。 在造印章 、盖章的历程中 ，都不用交流工具 ，一个 “ 喷头 ” 就能搞定，时期惟独要替换概况的质料。 而隔邻需要折来折去的 EUV 光刻技术 ，不光要一个重大的透镜阵列来操作光线，而且要发生这个波长极短的极紫外光 ，还患上大功率反对于着 。 这样比力之下 ，纳米压印技术简直是集能耗小、工艺重大 、配置装备部署轻捷等短处于一身，良多人都以为这会是最有可能替换 EUV 光刻的技术。 而且如今 ，纳米压印技术也已经睁开出了良多分支 ，光是压印方式就有三种：热压印、紫外压印以及微打仗压印 ，其中紫外压印罕用在芯片制作中，在紫外光的映射下 ，压印胶很简略凝聚脱模 。 凭证固化方式 、压印面积中分类也衍生出了良多差距的工艺。 这些工艺，除了造芯片之外 ，还能用在 LED 、 OLED 、 AR 配置装备部署中 。 可能说 ，在纳米压印这块儿 ，已经有百花齐放 ，步入慢车道的迹象了 。 此外 ，全部芯片制作行业 ，对于纳米压印技术的关注也良多 。 从 2004 年开始 ，下面咱们提到的佳能 ，就开始偏远钻研起了纳米压印。2014 年它笼络了美国的一家纳米压印公司 Molecular Imprints（ 份子压模 ） ，正式宣告进入纳米压印市场 。 其后 ，它还以及东芝（ 如今的铠侠 ）相助 ，豫备用纳米压印技术造 3D NAND 闪存 ，三星在买 EUV 配置装备部署的同时，也还在入手妨碍纳米压印技术的研发 。 就连 SK 海力士也从佳能那边买了纳米压印配置装备部署 ，豫备搞 3D NAND 闪存破费测试 ，并妄想在 2025 年实现大规模量产 。 假如能顺遂实现商业化的话 ， 200 层以上的 3D NAND 闪存破费功能会大猛后退 。 到时候，用纳米压印技术造 DRAM 、 CPU 等芯片做作也就不远了 。 在国内 ，纳米压印的市场也是睁开患上火热 ，良多高校像复旦、北大等都有相关的钻研。头多少天佳能官宣自家的纳米压印配置装备部署之后，还顺带拉动了国内相关意见股，汇创达盘中一度涨超 14% 。 国内的一些上市企业 ，好比美凯迪、奥比中光 、腾景科技等也都在纳米压印相关行业有所妄想 ，而且还在不断搞相关技术的研发。 前期 ，市场火热最直不雅的展现便是在专利上 ，当初国外在纳米压印技术相关专利总数上排名第二 ，占比全天下总数的 16% 。 以是说纳米压印技术 ，妥妥是当初确当红辣子鸡 。 不外在差评君心田尚有个疑团 ，纳米压印技术这么重大 ，一句话就能批注显晰道理 ，为啥这么晚才被钻研 ，不理当早就运用了吗 ？ 于是我又回偏激子细钻研了下纳米压印的工艺流程 ，发现纳米压印这技术 ，在一起头就卡了个大 BUG 。 而这 BUG ，也算是解答了差评君的疑难 ，那便是 ：光刻机事实会不会被取代 、被扩展 ？ 还拿盖章章的例子来说 ，用这种措施做芯片 ，第一步首先患上做印章吧 ，但纳米压印做那个 “ 印章 ” 的模具是 1 ：1 的 。 但要奈何样 “ 挖出 ” 印章里这种纳米级的沟道 ？ （ 舒适揭示：当初便是由于挖不出纳米级的沟道才搞出的光刻机，用 5 ：1 致使 10 ：1 淘汰后的电路板光刻 。 ） 以是能供纳米压印抉择的要末是光刻 ，要末便是试验室里的电子束曝光以及聚焦离子束 。 e妹妹m 合着这一圈儿又回到尽头了。 。 。 不外幸好那个做印章的 “ 模具 ” 可能一再运用 ，不用大批破费 ，也算是另一种方式的节约老本 ，否则真便是脱裤子放屁。 尽管，除了这个大 BUG 外 ，纳米压印尚有良多的技术难题等着处置 。 艰深咱们自己玩印章的时候都防止不了印的不屈均 ，概况缺边少角的 。 而在纳米尺度下的纳米压印技术 ，这些情景就更不能防止了，像下面这些双方高度不一 、印章变形 、不残缺适宜的天气都是很罕有的残次品 。 要防止这些残次品的泛起 ，就患上在技术高下功夫 。 首先便是喷涂历程 ，也便是在晶片上喷涂纳米压印胶 ，在这个历程中 ，喷涂的厚度 、平均度等都有着严厉的要求 ，而且还不能有气泡 、灰尘进入 ，一旦进入直接就报废了 。 。 。 处置措施当初都是在压印历程下功夫，部份加热不屈均的部份 ，好让印章以及印胶详尽贴合。 尚有便是脱模历程 ，为了能让压印胶更好的脱模 ，业内艰深都市在胶下面搞上一层纳米级此外抗粘性质料 。 这尽管好脱模了 ，但这种抗粘性质料还会以及模具爆发磨擦啥的 ，模具的寿命也会因此延迟 。 此外尚有压印胶质料 、模具质料的抉择，模具定位及套刻精度 ，精确操作等等一系列下场 。 这些零星的技术难题 ，展现到产物上便是良率的下场 。 以是 ，要实现纳米压印芯片量产就绕不开这些下场，而要处置这些下场 ，大批的研发以及试错老本少不了 ，这所有 ，都需要光阴来反对于 。 最后 ，再回到收尾说的纳米压印能不能取代光刻机的下场上 。 信托看到这里的同伙们心田思应都有谜底了 ：确定不会 ，事实纳米压印在第一步就绕不开光刻技术 。 更紧张的是，差评君感应 ，这两种技术之间的关连并非非此即彼 ，与其说纳米压印会取代光刻机 ，不如说纳米压印是光刻技术的缩短 。 就像二十世纪通用机床同样，一起头它们只破费产物 ，其后转向破费专用工具 ，专用工具再破费产物 ，不光扩展了产能 ，还飞腾了老本 。 概况未来有一天 ，光刻机也会迎来这样的脚色转变 ，到时候 ，说不定芯片制作业 ，已经实现了新一轮的刷新。 撰文 ：松鼠 编纂 ：江江&鹤然 封面 ：焕妍 图片 、质料源头 ： 果壳硬科技 | 纳米压印光刻，能让国产绕过 ASML 吗 semiengineering | Nanoimprint Finally Finds Its Footing 半导体行业审核 | 纳米压印 ，终于走向台前？返回搜狐 ，魔难更多 责任编纂 ： |